凈化車間是能量消耗大戶，這是因為要保持潔凈的生產環境所必需的空氣潔凈度等級、壓差、溫度、相對濕度要求；防止污染和交叉污染，凈化車間內應根據產品生產過程的要求排除生產過程中產生的粉塵、熱量、有機溶劑等所需的全室或局部排風裝置，與此同時需向凈化車間內送入相應的或必需的室外新鮮空氣；根據不同的空氣潔凈度等級的要求需要有必須的換氣次數/送風量。

為進行正常的產品生產，凈化車間內的生產工藝設備需按產品的特點供應電力、純氣、純水、高純化學品等，這些也需消耗大量的能源，伴隨著電力等能量的消耗，在凈化車間內產生的各種形式的發熱量還需進行冷卻，有時這種需進行冷卻的熱負荷量是不可忽視的。

凈化車間所需的凈化空調系統的冷負荷與一般工業廠房或寫字樓的一般空調系統的冷負荷相比，前者因空氣潔凈度等級和無塵室內生產工藝要求的不同，冷負荷大約為2093－6280kj/(㎡.h)，而寫字樓的一般空調系統的冷負荷僅335－502kj/(㎡/h).半導體集成電路制造或生物醫藥產品的主要生產工序都要求在無塵室內進行，為了保持所必須的空氣潔凈度等級，需要將大量的空氣通過高效過濾后送入無塵室內，寫字樓的一般空調房間的換氣次數為10次.h-1以下，而大規模集成電路生產所需的5級（100級）、4級（10級）、3級（1級）無塵室的換氣次數可能達數百次，其送風量將會比前者大數十倍以至百倍上，因此無塵室的凈化空調系統及其制冷機的耗電量比其他類型建筑物的一般空調系統及其制冷機的耗電量大得多，據調查統計大規模集成電量約占工廠總耗電量的50%左右；制藥工廠潔凈廠房的凈化空調系統及其制冷機的耗電量約占工廠總耗電量的60%左右！

如果萬級無塵室節能不采取新的措施——革新設計方法、研制新式節能設備、提高運行管理水平，則將無法滿足消費者的要求，所以各公司對凈化車間的凈化，無不從設計、運行管理、研究開發方面考慮各種手段、措施來減少能耗。

 一、萬級無塵室節能方面采取的措施

 1.廠址選擇、建筑布局與工藝設置的合理性，可以從根本上降低初投資及運行費用。

 2.減少凈化空間是大家共同關注的實現節能的快捷有效途徑的方向。凈化系統的風量取決于房間體積和換氣次數，而換氣次數大多由潔凈級別所確定，因此要降低 潔凈系統的風量可以減小凈化空間入手。因為低風量化即合理地選定換氣次數可以減少送風動力消耗。同時在管路設計中盡可能減少系統的阻力，也可達到降低送風 動力消耗的效果。

 3.正確確定生產設備的熱負荷對選定空調制冷設備有直接關系。

 4.空調和凈化功能的分離有利于發揮各自的技術經濟合理性。

 5.工藝過程中和空調系統的熱回收是可以直接獲益的措施，因此應充分利用這部分熱量，使之達到物盡其用的目的。

 6.設計方案應具有較好的適應性（靈活性），它是實驗性車間必須考慮的問題（如單向流/非單向流的轉換、分區轉換等）。

 7.新風集中處理有利于應用地下水預冷、除塵和加濕。

 8.室內換氣次數和末級過濾器效率之間的組合（達到相同級別）需進行經濟比較。

 二、 萬級無塵室運行過程中的注意事項

 1.生產工作停止時，排氣柜應減小排風量，新風量亦應隨之調小。

 2.根據不同的工藝過程應能有效控制室內換氣次數。

 3.與一般空調系統相同，運行中在某些季節應盡可能利用自然的冷卻作用（室外空氣冷卻、冬季利用冷卻塔獲得冷水）。

 4.過渡季是否增加新風比，以及值班運行方式是否提前開動運行均應通過經濟比較確定。

 5.提高空調凈化系統的自控水平，能夠實現既保證運行質量，又能達到節能的目的。

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